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矩形波导是光通信和集成光子学中最基础的导波结构之一,其设计核心在于实现光场的高效约束与传输。采用有效折射率方法进行设计时,需重点考虑以下三个层面:
理论模型构建 有效折射率法将三维波导问题简化为两个正交方向的二维问题。先计算横向(如水平方向)的折射率分布,将其等效为均匀介质,再纵向(垂直方向)求解光场模式。这种方法大幅降低了计算复杂度,尤其适合分层介质波导。
关键参数设计 波导宽度、高度和材料折射率差是决定单模传输特性的核心参数。通过调节宽度与高度比,可控制模式数量;而衬底与波导层的折射率差直接影响光场约束能力。设计时需权衡模式尺寸与散射损耗。
工艺适配性优化 实际制备中,刻蚀侧壁粗糙度或材料不均匀性会导致等效折射率变化。有效折射率法可通过引入修正因子模拟工艺偏差,提前预判性能波动,这对芯片级制造尤为重要。
该方法的优势在于物理意义直观且计算效率高,但对复杂截面波导(如梯形)需结合数值仿真补充验证。现代设计通常将其作为初筛工具,再通过有限元法精细调优。